電容式測微器工作原理及結構圖
電容式測微器工作原理及結構圖
利用電容效應，當對象至感測器間之距離改變時，即會改變電容值，應用此一原理可擷取待測對象細微幾何形狀之尺寸。由於電容效應存在於各個物質間，因此在感測器的設計上必需考慮到雜訊防治的保護措施，如圖(a)所示之結構圖在感測器外圍加上兩層封裝以杜絕外界干擾，圖(b)則為感測器的等效電路圖。電容式測微器由於利用電容效應因此解析度相當高，一般電容式感測器的量測範圍為±0.13mm，解析度為0.1μm，精確度則為全刻度之0.1-0.2%，同時電容式測微器為非接觸式量測，因此理論上壽命為無限長。
(a)電容式測微器結構封裝示意圖
(b)電容式測微器等效電路圖
