無源固態繼電器內部電路框圖如圖。 其中無觸點開關由單向或雙向可控硅組成（內含浪涌吸收電路），它接受觸發電路來的交流電網同步觸發脈衝。觸發脈衝由間歇振蕩器產生，同步調製電源向間歇振蕩器供給穩定的電壓，間歇振蕩器的每個脈衝寬度受控制繞組的控制。當外接在控制繞組的無源敏感元件的阻貳值變小時，流過控制繞組的退磁電流增大，脈衝寬度變窄，從而不能觸發無觸點開關，使輸出端斷開，反之，輸出端接通。實現了外接在輸入的無源元件阻貳值的變化有隔離地去自動啟停接在交流電網上的大電流高電壓負載的控制功能。
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